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在半導(dǎo)體制造業(yè)中，可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體，大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體，如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入、摻雜、氣相沉積，擴(kuò)散等過程中使用的各種化學(xué)氣體，如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可稱為電子特種氣體。電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，北京特種氣體，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短，拐彎少，布置緊湊合理，給人簡(jiǎn)單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，特種氣體供應(yīng)商，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里，對(duì)于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。

特種氣體的殺菌

安全與環(huán)保

1.滅菌過程中嚴(yán)禁穿有釘?shù)男M(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)，嚴(yán)禁操作現(xiàn)場(chǎng)抽煙，以防引起爆1炸事故

2.操作過程中，密切注意壓力、溫度變化，隨時(shí)進(jìn)行調(diào)整

3.滅菌過程結(jié)束打開滅菌器時(shí)，必須先打開門窗及通風(fēng)設(shè)備，特種氣體價(jià)格，室內(nèi)環(huán)氧乙1烷氣味很濃時(shí)，不得開啟電燈照明及手電照明，防爆燈除外。

4.滅菌結(jié)束后排放的環(huán)氧乙1烷殘余氣體應(yīng)進(jìn)行妥善處理并符合環(huán)保要求。

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